第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机(第1/2页)

作品:《大国芯工txt合集下载

“岸然,这事我必须当面和你说清楚,这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样?”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”

“张教授,你倒是说啊!”

张大京嘴角带着笑,指着王岸然说道:“岸然,我一直以为你比别的年轻人沉得住气,现在看来,只是没找到你感兴趣的东西啊!”

王岸然白了张大京一眼,说道:“张教授,你再不说,我可要翻脸了啊!”

“好!好!”张大京摇摇头,说道:“岸然,有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”

额,王岸然感觉呼吸都有些急促,krf准分子激光光源有两种波长,一种是248纳米,另外一种就是193纳米。

这跟高压汞灯光源不一样的是,高压汞灯光源还属于可见光,而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究,而且取得了相应的成果,不过适用于光刻的248纳米光源,要求的是百焦级别的高功率,以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。

门槛就在这里。

事实上,ibm早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻,而十五年过后,对国内来说,还是一道深不可测的技术门槛。

没想到,这玩意竟然被张大京搞来了……

王黯然忙问道:“张教授,我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的,你怎么……?”

“岸然,你错了,瓦森纳协议中限制出口的列表,今年没有把248纳米krf列入其中。

不过需要说明的是,这款激光器是不可以用作军事用途的,所以,他们会派人监管,并定期检查的。”

自己的消息还是滞后了啊!

王岸然摇摇头,如果248纳米光刻机解除禁运的话,国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步,甚至在深紫光上有了突破。

原因很简单,瓦森纳协议的核心就是n-2政策,西方审批出口的依据就是,对华出口的设备必须是落后两代。

而实际上,审批程序很复杂,等真拿到设备的时候,差不多已经是第三代的了,基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。

这也没办法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙问道:“张教授,这条芯片生产线,可以……”

张大京打断王岸然的话,说道:“岸然,这是我另外要说的一件事,248纳米激光光源光刻机,可以经过改造,用于1微米制程的芯片生产,不过,涉及一系列复杂的光学曝光技术,这些专利是要折算成资金入股的!”

这个王岸然没有意见,如果能改造成沉浸式光刻机,320纳米制程都没问题。

张大京拿出一份文件递给王岸然。

“股权结构?”

张大京点点头。

王岸然翻开一看,愣住了。

7亿美金只占了35%的股份,张大京团队以技术入股,占15%的股份,张大京自领5%的干股,后面跟着一大串投资人。

王岸然还看到了老伙计高盛,还有新加坡投资集团,湾岛国际等,这么多家,一共才出资3亿美元,加部分专利授权,占股45%。

“岸然,你是知道的,拉高盛进来,也是为我们的设备审批能够快一点,毕竟高盛在公关上还是有一套的。”

王岸然倒不是为高盛入伙头疼,他是为华芯科技出了资金的大头,占的股份确只有三分之一多一点。

唯一让王岸然有些安慰的,就是自己仍然是这家公司最大的股东。

因为前面已经承诺,自己的股份,投票权已经交给张大京,而张大京的团队加上张大京自己的有20%的股份。

加在一起就是55%的股份,完全可以让张大京在新公司说话能算数。

可华芯科技也太亏了吧!

“可谁让自己没有技术呢!活该被宰。”

王岸然摇摇头,这个时候想跟人家玩,不出点见面礼肯定是不行的。

“岸然,还有一点我需要明确一下,一是员工股票池,这是需要各股东按比例出的,现在暂定的是3%

另外就是,这家公司最终是要上市!”

王岸然点点头,张大京拉了这么多的资本进来,而资本是追求利润的,不上市,怎么把股份套现……

“张教授,关于专利入股的事,我需要我的团队评估一下各个专利的价值,其他的,我这边没有问题。对了,张教授,厂房定了没有?”

“还没有,我们的人正在和港府协调,目前来看,还没有找到合适的地皮。”

王岸然也没说话,留着张大京去公关吧!

等他碰壁了之后,他会知道,在大陆建